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ASTM D 5127-2007 电子学和半导体工业用超纯水标准指南
标准号 ASTM D 5127-2007
中文名称 电子学和半导体工业用超纯水标准指南
英文名称 Standard Guide for Ultra-Pure Water Used in the Electronics and Semiconductor Industries
发布日期 2007-01-01
工作组 ASTM
中国标准分类 L04
国际标准分类 13.060.25;71.100.99
页数 5



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